對顯微分析又兼有定性與定量分析之能力。對固態元素定性與定量分析，適用于Z>11(Na)，分析能力約為 100ppm，解析范圍約為1um。單獨作定性分析可測至Z>5(B)。通常EPMA同時附設 WDS及EDS之偵測設備，兩者功能可以利弊互補，WDS 解析敏度為100ppm; EDS則為 1000ppm (0.1wt%)。在重元素材質中含有輕元素時，解析度則更差。EPMA 之電子束涵蓋試片面積，直徑約為1um，電子貫穿試片深度亦約為lum。

 

         作定量分析時，試片必須磨平，材料之破裂斷面以及基材內含有不規則形狀之顆粒，EPMA 雖也能分解，但精度較差EPMA是有多種功能的顯微分析工具。它特別適用于:(1)微組織內含有個別相的成份分析 ; 譬如鋼鐵合金內之析出物，第二相等。(2)晶界間成份梯度之變化及分佈狀態。(3)個別相組織內成份均勻或不均勻之分佈狀況(在lum范圍內)。以及(4)非均勻元素分佈圖 (mapping) 之測定等。