本文標題："微機電零件輪廓精確度測量工具顯微鏡"

微機電零件輪廓精確度測量工具顯微鏡

微機電系統的優點
(1) 精確度：
???當一機械系統從傳統從傳統大小縮小至微機械時，其零件之精確度將相對的提高。
(2)成本：
??由于微機械體積的微小，所以需要的材料成本很低，就是用較好的材料也不會提高太多成本。
(3)輕柔運作：
??低質量，意味低實性和低質量變化效應，導致較平順，較輕柔的運作。
(4)運作速度：
??系統越小，可使用的運作速度越高。當一系統縮小10倍時，
其相對可運作之速度則可提高10倍以上。例如微細的硅晶空氣輪機可在使用簡單的硅晶軸承下，
轉速達24000RPM。

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