本文標(biāo)題："高精度細(xì)微的零件/元件等測(cè)量工具顯微鏡"

高精度細(xì)微的零件/元件等測(cè)量工具顯微鏡

白光點(diǎn)光源搭配顯微PFP量測(cè)系統(tǒng)對(duì)微小物件之研究。顯微PFP量測(cè)系統(tǒng)采用非接觸式表面形貌量測(cè)，
具有高精確度及對(duì)環(huán)境的適應(yīng)高等優(yōu)點(diǎn)。系統(tǒng)光源由超短脈沖雷射，經(jīng)聚光透鏡把激光束聚焦至光子晶體光纖里，
當(dāng)超短脈沖雷射在光子晶體光纖里傳導(dǎo)時(shí)，會(huì)進(jìn)行數(shù)個(gè)非線性光學(xué)，
所以最后在光子晶體光纖的出口端會(huì)形成非常完美的白光點(diǎn)光源。此光源具有下列優(yōu)點(diǎn)：

（1） 對(duì)投影系統(tǒng)而言，其景深可視為無限長(zhǎng)。
（2） 不具有雷射光斑的缺點(diǎn)，不會(huì)影響到顯微PFP系統(tǒng)量測(cè)的準(zhǔn)確度。
由實(shí)驗(yàn)可得到，以白光點(diǎn)光源作為顯微PFP量測(cè)系統(tǒng)之照明裝置，比其他照明設(shè)備具有更大的縱深量測(cè)范圍，
在相同操作條件底下，其增加的量測(cè)范圍約為1.5倍其他光源(雷射與鹵素光源)之范圍。
未來的研究方向，將利用此系統(tǒng)致力于半導(dǎo)體元件、微機(jī)電裝置與生醫(yī)科技（如生物細(xì)胞）之形貌量測(cè)

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