本文標題："微機械加工技術-微觀焊接分析顯微鏡"
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微機械加工技術-微觀焊接分析顯微鏡
新的科學技術研究應用領域，并迅速產業化和規模化。回時微
機電系統的發展將推進人類認識和改造客觀世界的能力。因此微機
電系統在21世紀倍受人們的關注，已經成為21世紀制造業的重要方
面之一。微機電產業也被認為是朝陽產業，是繼微電子之后又一個
對國民經濟和軍事具有重大影響的技術領域，是新世紀世界經濟新
的增長點。它現實的和潛在的應用將會給國民經濟和國家安全帶來
巨大影響，將成為21世紀提高國家軍事能力的重要技術途徑。
微機電系統的起源
微機電系統(MEMS)一詞來源于1989年美國國家自然科學基金會
(NSF)主辦的微機械加工技術討論會的總結報告“Micro—electron
Technology Applied to Electrical Mechanical System”，本
次會議中微機械加工技術(Micromaching Technology)被NSF和美國
國防部先進技術署(DARPA)確定為美國急需發展的新技術，從此作
為Micro．Electro—Mechanical System縮寫詞的MEMS被廣為流傳
。
隨著微機械加工技術的內容不斷擴充，水平不斷提高，
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