本文標題："自適應光學鏡頭的設計制造-光學分析顯微鏡"
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自適應光學鏡頭的設計制造-光學分析顯微鏡
自適應反射鏡三種常見的形式。結構的特征在于利用強迫位移
作動器對運動進行控制，同時還使用了一系列力作動器。位移作動
器具有相對高的剛度，兇此可以作為支撐結構，以及作為控制鏡片
剛體運動的一種高效率的方式。力作動器通常是一種低效率的應用
方式，它可以在兩個點之間傳遞一個相等且反向的理想力對。為承
受自適應面形控制過程中產生的作動力，這種構型通常還需要使用
一個相對剛性的反作用結構。從圖中還可以看到，力矩作動器是通
過一一個力作動器加上一個力矩臂來實現的。結構的特征在于應用
了一系列高效率的位移作動器。在自適應面形控制以及組件承受載
荷的時候，位移作動器需要作用于一個剛性相對較大的反作用結構
上。描述的結構其特征在于使用了內置作動器的鏡片，并且鏡片裝
配在位移作動器上。由于作動載荷在鏡片內部發(fā)生作用，因而，這
種構型消除了對反作用結構的需求。不過，這種內置作動器的實現
方式，
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