本文標(biāo)題："超光滑表面微觀形貌檢測(cè)儀器分析電子顯微鏡"
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超光滑表面微觀形貌檢測(cè)儀器分析電子顯微鏡
超光滑表面微觀形貌檢測(cè)儀器分析與選擇
目前，超精密表面形貌的測(cè)量與評(píng)定已成為國(guó)內(nèi)外學(xué)者研究的
重要方向。由于近年超精密表面測(cè)量?jī)x器和測(cè)量方法的逐步完善，
使得納米級(jí)表面測(cè)量技術(shù)快速發(fā)展起來(lái)，但是隨之問(wèn)題也逐漸暴露
出來(lái)。由于對(duì)超精密表面的檢測(cè)沒(méi)有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)和測(cè)量?jī)x器，用不
同測(cè)量?jī)x器檢測(cè)的結(jié)果差異很大，無(wú)法斷定哪一種方法測(cè)得的表面
形貌更接近真實(shí)表面、可信度更高。因此，需要對(duì)常用檢測(cè)超精密
表面微觀形貌的方法與儀器原理、性能進(jìn)行分析論述，分析這幾種
測(cè)量?jī)x器的誤差成因．空問(wèn)分辨率及適用范圍，以期能找到滿(mǎn)足測(cè)
量要求的儀器，得到比較可靠的測(cè)量結(jié)果，為準(zhǔn)確地測(cè)量超精密表
面提供依據(jù)。
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