本文標(biāo)題："測(cè)量光學(xué)儀靜止-測(cè)量額外的振動(dòng)和空氣湍流"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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測(cè)量光學(xué)儀靜止-測(cè)量額外的振動(dòng)和空氣湍流
環(huán)境條件
環(huán)境條件(尤其是溫度系數(shù))可以影響激光波長(zhǎng)的參考值，因此
影響測(cè)量精度。環(huán)境的溫度、壓力和相對(duì)濕度都屬于眾多一般因素
中應(yīng)盡可能解決的環(huán)境因素。此外，環(huán)境參數(shù)的變化也可能導(dǎo)致在
校準(zhǔn)和補(bǔ)償階段有不適當(dāng)?shù)膸缀握`差補(bǔ)償，不同的環(huán)境條件得到不
同的機(jī)械幾何特性。雖然它們的影響在機(jī)器上可能會(huì)是隨機(jī)的，但
是它們可以在一定程度上得到補(bǔ)償。
CMM(坐標(biāo)測(cè)量機(jī))和機(jī)床的熱效應(yīng)可以使機(jī)械的結(jié)構(gòu)產(chǎn)生非常
復(fù)雜的特性。它們有不同的來(lái)源，包括不直接與機(jī)械相關(guān)的操作，
如房間溫度、光源和液壓系統(tǒng)等。為了盡量減少熱膨脹效應(yīng)，就必
須讓機(jī)械和光學(xué)儀溫度穩(wěn)定，然后才能測(cè)量。良好的環(huán)境溫度調(diào)節(jié)
可能是必要的，這取決于應(yīng)用程序和要求。雖然可以近似補(bǔ)償，但
全部由電腦熱補(bǔ)償是非常困難的。一階熱效應(yīng)建模與補(bǔ)償更現(xiàn)實(shí)和
適合實(shí)際情況。一階熱校正需要每軸至少有一個(gè)傳感器。使用多個(gè)
幾何誤差模型來(lái)反映幾何學(xué)中的熱效應(yīng)，每一個(gè)模型在特定的工作
溫度范圍內(nèi)是有效的。
測(cè)量光學(xué)儀靜止時(shí)，額外的振動(dòng)和空氣湍流可以由測(cè)量結(jié)果的
隨機(jī)漂移來(lái)確定。也可以由漂移的增加或連續(xù)運(yùn)行使光學(xué)部件間距
離的增加來(lái)確定它們的影響。防止影響的方法是確保所有設(shè)備的剛
性固定和支撐，并利用足夠的通風(fēng)設(shè)備讓空氣充分流通。
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