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本文標(biāo)題:"移測(cè)量或應(yīng)力分析-相位測(cè)量技術(shù)分析"

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移測(cè)量或應(yīng)力分析-相位測(cè)量技術(shù)分析

 
應(yīng)用
    所有這些技術(shù)都可以用于位移測(cè)量或應(yīng)力分析,也可以用于目
標(biāo)輪廓測(cè)量。位移測(cè)量是通過比較物體一個(gè)微小位移前后或加載負(fù)
載前后的條紋圖案來進(jìn)行的    由于這些測(cè)試的靈敏度是可變的,
因此相比于全息技術(shù),它們可以用于更大范圍位移與應(yīng)力測(cè)量。通
過對(duì)所獲得的兩幅條紋圖案進(jìn)行比較,同樣能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)兩個(gè)物體或
物體與標(biāo)準(zhǔn)件進(jìn)行比較的差分干涉測(cè)量術(shù)。最后,利用莫爾技術(shù)進(jìn)
行時(shí)間平均振動(dòng)分析與使用更長(zhǎng)有效波長(zhǎng)的時(shí)間平均全息術(shù)獲得的
結(jié)果相似。
    使用相位測(cè)量技術(shù)時(shí),可以定量地獲得與某些參考面相對(duì)的表
面高度。如果等高線在物空間內(nèi)是等問距的直條紋,那么參考面將
是一個(gè)平面。在計(jì)算機(jī)中,可從表面高度中減去任何理想平面(或
面)以產(chǎn)生和所有表面有關(guān)的表面輪廓。這類似于通過光柵(或變形
光柵)觀察等高線以減少它們的數(shù)量。如果等高線不是等間距直條
紋,參考面將不再是平面。通過在待測(cè)物體位置放置一塊平面,并
測(cè)量它的表面高度就可以確定參考面。一旦獲得參考面的面形數(shù)據(jù)
,就可以在隨后的測(cè)量結(jié)果將其減去而獲得待測(cè)面相對(duì)于參考平面
的表面高度。因此.采用相位測(cè)量干涉術(shù)可以使表面高度和所有表
面有關(guān),并且能將其轉(zhuǎn)化為與另一個(gè)表面有關(guān)的表面高度。對(duì)裝置
進(jìn)行更深入的研究,可以將標(biāo)準(zhǔn)件與多個(gè)測(cè)試件進(jìn)行比較測(cè)試以確
定其形狀是否符合規(guī)定。應(yīng)當(dāng)指出的是這種測(cè)試將會(huì)對(duì)某一方向比
較敏感,而且可能存在一些由于表面上的陰影而造成數(shù)據(jù)丟失的區(qū)
域。

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